碳化硅硬度僅次于金剛石、立方氮化硼和碳化硼的高硬度陶瓷材料。由于其具有較高的耐磨性和相對較低的成本，碳化硅在諸多應(yīng)用中作為散?；蚬讨チ喜牧鲜褂谩?br/>在CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）行業(yè)中，隨著半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展，電子器件尺寸縮小，要求晶片表面平整度達(dá)到納米級，傳統(tǒng)的平坦化方案只能滿足局部平坦化，只有通過CMP技術(shù)進(jìn)行整體拋光。而海特HT-C系列產(chǎn)品是針對化學(xué)機(jī)械拋光行業(yè)量身打造，成為品質(zhì)優(yōu)良的磨料。
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